比较理想的是采用真空清洗方式，降低其表面张力，提高清洗能力，后再使用真空干燥。设备造价很高，操作比较复杂，效率相对较低。
⑵氯代烃溶剂
使用的氯代烃清洗剂主要是三氯乙烯，二氯甲烷以及四氯乙烯。该类溶剂被广泛应用于清洗领域，主要是有以下优点和特征：
很低的ODP值(臭氧耗减潜能值。几乎不会破坏臭氧层;在一般条件下使用具有不燃性。没有火灾或爆炸的危险(二氯甲烷在长时间强烈光照下可能爆炸);对金属加工油。油脂等油污的溶解力大。对塑料和橡胶也可产生膨润或溶解：其粘度及表面张力小，渗透力强，可渗透狭小缝隙，彻底溶解清除附着污物;沸点低，蒸发热小，适合蒸汽清洗，清洗后可以自行干燥;废液可通过蒸馏分离，循环使用;可使用与CFC和TCA相同或相近的清洗工艺和设备，操作简单，效率高，运行费用低;缺点是毒性较高，一般在空气中的含量限制在为50PPM以下;有些劳动保护条例对使用它有明文限制;一些欧洲国家限制进口和使用这类含氯清洗剂的产品。
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⑶溴代烃溶剂
近几年。在美国，日本有溴系清洗剂面世。并在电子工业，航空工业。汽车工业，家电领域大量使用。溴系清洗剂的主要成分是高纯度的正溴丙烷(NPB)。其性能可以与CFC-113和TCA相媲美。主要技术参数与TCA几乎完全一样，湿润系数更好，对于金属零件的清洗能力更强。没有闪点，可以重复回收使用，运行成本很低。替代CFC和TCA，工艺完全一致，几乎不需要更换设备。只需要调整一下蒸洗温度就可以了，也被称为是“第三世界的替代清洗剂”。溴系清洗剂的ODP为0.006，在大气中寿命为11天，几乎没有GWP值。关于毒性还有争论，联合国环境规划署(UNEP)已经组织进行了5年多的实验。实验结果与理论分析有很大差异。美国环保局在2002年3月27日发布的政策中明确接受NPB作为溶剂用于清洗、气雾和胶粘剂。但是由于对其毒性尚无确切的数据，在使用中应当控制在空气中的暴露浓度。
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同时，在压缩机和电真空领域，替代实验也已经完成，特别是通过了压缩机冷媒和润滑油的相溶性实验，开始在压缩机行业批量使用。电真空行业协会组织的实验也已经完成，结果完全可以满足要求。终报告正在完成之中。
在中国生产HEP-2项目已经正式得到联合国多边基金的批准，国家环保总局正在组织有关单位在国际履约环保产业园内实施该项目，届时，HEP-2将成为中国ODS清洗剂的主要替代品。
助洗剂在体系中起着螯合、缓蚀、消泡、增溶、稳定、抗沉积等作用。
⑷有机氟化物(HCFC、HFO、HFE、PFC)
替代CFC-113的氟系清洗剂主要有HCFC(含氢氟氯化碳)、HFC(含氢碳氟化物)、HFE(氢氟醚)、PFC(全氟化碳)等。其中HFC，HFE，PFC本身不具有清洗力，需要和其它化合物组合后才能使用。该类清洗剂具有与CFC-113接近的清洗性能，稳定。低毒。不燃。可靠，但是通常价格昂贵。HCFC对臭氧层有一定的影响，大量使用的有HCFC-141B、HCFC-225。属于过渡性替代品，终还要被禁用;HFC和HFE类清洗剂过于稳定。在大气中的寿命高达数千年甚至几万年。是非常厉害的温室气体。在<;京都议定书>;正式生效以后，可能也要被限制使用。
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⑸天然有机物(植物系)
从植物中提取的烃类有机物品种很多，使用较多的主要有松节油和柠檬油。松节油是一种比较有代表性的植物系烃类溶剂。存在于天然的松脂中。将松脂蒸馏，馏出物就是松节油，固体剩余物就是松香。主要成分是和蒎烯，其溶解能力介于石油醚和苯之间。沸点和燃点较高，使用性较好。
柠檬油是由柑橘。柚子。柠檬类水果皮中蒸馏提炼得到的一种烃类溶剂。主要化学成分是叫苎烯(甲基丙烯基环己烯)的单环萜烯，组分很复杂。沸点为175.5—176℃，物理性能与松节油相似，具有柑橘(柠檬)水果香味。柠檬油本身不溶于水。添加活性剂后与水任意比例混配。它的去油脱污能力很强。在美国应用很广泛。包括机械加工。车辆维修去油污清洗，保龄球道的清洗，油罐清洗。电子部件清洗等。特别是它来自水果，被美国FDA认定可以作为食品添加剂。不用担心残留，并被证明具有作用，被应用到食品加工机械。餐具的清洗。啤酒罐的清洗等直接与饮食相关的领域，在民用和家庭清洗领域也具备良好的应用前景。
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柑橘油对油脂的相溶性很强，通过棉纱过滤，可以将油污分离。重复使用。废液可以生物降解，不会造成污染，环保费用低。缺点是去油和溶解能力太强。直接接触皮肤会造成皮肤脱油干燥;不能直接清洗有漆的物件和很多种塑料、橡胶，容易造成油漆脱落和溶解。日本曾经用该类溶剂融化一次性餐具盒和包装用泡沫塑料，也就是白色垃圾，溶解力很强。
中国有关单位已经开始植物系清洗剂的研究和应用。国内公司从1998年开始，从美国引进柑橘油清洗剂和相关的清洗技术，并开发生产了配套的专业清洗设备。在机械加工等领域进行了推广应用。
用于工业污垢清洗的化学制剂，一般应满足下述的技术要求。用于不同的清洗目的与清洗对象的清洗剂，对于这些要求可以有所侧重或取舍。
⑴清洗污垢的速度快，溶垢彻底。清洗剂自身对污垢有很强的反应、分散或溶解清除能力，在有限的工期内，可较彻底地除去污垢。
⑵对清洗对象的损伤应在生产许可的限度内，对金属可能造成的腐蚀有相应的抑制措施。
⑶清洗所用药剂便宜易得，并立足于国产化;清洗成本低，不造成过多的资源消耗。
⑷清洗剂对生物与环境或低毒，所生成的废气，废液与废渣，应能够被处理到符合国家相关法规的要求。
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⑸清洗条件温和，尽量不依赖于附力口的强化条件，如对温度、压力、机械能等不需要过高的要求。
⑹清洗过程不在清洗对象表面残留下不溶物，不产生新污溃，不形成新的有害于后续工序的覆盖层，不影响产品的质量。
⑺不产生影响清洗过程及现场卫生的泡沫和异味。
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