探头故障现象、原因及排除方法1、沉积期间厚度读数大跳变a.不良晶片产生解决方案：更换晶片b.晶片接近其使用寿命解决方案：更换晶片c.晶片支承座表面有杂物解决方案：用酒精或细砂皮清洗支承座d.来自溅射源的频率干涉解决方案：检查接地，仪器远离溅射

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