天津中环电炉股份有限公司

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四川高温管式电炉,江苏高温箱式电炉供应厂家

2022-02-04 07:06:02  658次浏览 次浏览
价 格:面议

产品用途

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD系统配置;

1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(单独购买)

产品特性;

电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

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系统名称

集成型PECVD系统

1200℃小型PECVD系统

系统型号

PECVD-12IH-500A

PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系统

手动

温度

1200

加热区长度

200mm

恒温区长度

100mm

温区

单温区

石英管管径

Φ60mm

Φ50mm

额定功率

1.2Kw

2Kw

额定电压

220V

滑动方式及距离

自动滑动;200mm

手动滑动;200mm

温度控制

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