控制系统:是整个洁净实验室-生物实验室运行的神经中枢。由于洁净实验室-生物实验室的实验对象是危险性的微生物,出于严格控制污染的原则,它要求以少的维护人员,运用化的管理维护手段,来实时监控每一个实验室中设备所处的物理环境,保证实验室运行过程中始终处于相对负压环境,防止危险性微生物外泄。
无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中
配电箱的进出线选用低压电缆,电缆的选择应符合技术要求。例如30kVA、50kVA变压器的配电箱的进线使用VV22-35×4电缆,分路出线使用同规格的VLV22-35×4电缆;80kVA、100kVA变压器的配电箱的进线分别使用VV22-50×4、VV22-70×4电缆,分路出线分别使用VLV22-50×4、VLV22-70×4电缆,其电缆与铜铝接线鼻压接后再用螺栓与配电箱内接线桩头连接。进入制证车间之前,先要穿上防尘鞋套,车间门口就安放有自动鞋套机。随后,笔者走进了一个两端都有门的“小走廊”,“走廊”两侧的无数个小“吹风机”不断对笔者“吹风”。这间“小走廊”名为“风淋室”,“吹风机”是旋转喷嘴,能迅速清除附着在衣服上的灰尘、头发、发屑等杂物。每一位工作人员和外来人员进入洁净室无尘车间之前,都要通过风淋间“净化”。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入洁净区域。
洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。